仕 様 | SEM分解能:3.5nm 倍率:x20〜x300000 EDS分解能:144eV以下 検出可能元素:Be(4)〜U(92) 外寸:1920x840x1600h 重量:520kg 電源:SEM部:単相100V 30A :EDS部:単相100V 5A
| | 本体:SuperScanSS-550 エネルギ-分散型X線分析装置:EDAX 低真空観察システム 半導体反射電子検出器 ビデオコントロ-ルアンプ 冷却水循環装置:CA-1111 エア-コンプレッサ-: デ-タ処理装置:Windows7 SP-1 HDD:500GB :Ver4.2
| 備 考 | | | 点検整備中 |
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