仕 様 | 1.2次元分解能 10μm 2.XGT素子 直径10μm及び直径100μm 3.X線発生器 X線管 ターゲットRh 管電圧 50.30及び15kw 管電流 0.1〜1.0mA 4.検出可能元素 Na11〜U92 (ブローブ内真空状態にて) 5.試料の大きさ 100x100ステ−ジの場合
| | CCDカメラ CS−5110C 東京電子 光源装置 MHF−D100LD モリテックス MOドライブ MO−640SU オリンパス PUMPコントローラーNF−BOX 堀場製作所 真空ポンブ G−50DA アルバック PC HFC-90300 エプソン
| 備 考 | | | |
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