仕 様 | 放電:方式:ダイオ-ド放電マグネトロン形 :電圧:最大電圧DC 0.4KV(位相制御にて可変) :電流:最大電量 40mA コ-ティングレ-ト:Ptタ-ゲット 15nm/min 圧力調節範囲:20E1〜7.0EO Pa 膜厚設定範囲:1〜30nm(時間設定の場合:5〜300S) 温度設定範囲:室温〜(室温-25)℃ 試料:最大φ60mm.最大高さ20mm ロ-タリ-ポンプ:135/162L/min タ-ゲト:Pt 電源:AC100V 15A 外寸/重量:450x391x390h/25kg(本体) | |
| 備 考 | | | |
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