| 仕 様 | ｲｵﾝ加速電圧:2～6KV
ｲｵﾝｲｵﾝﾋﾞ-ﾑ径:500μm (半値幅)
ミリングｽﾋﾟ-ﾄﾞ:0.45μm/min （加速電圧6kv 試料:Si)
最大搭載試料ｻｲｽﾞ：幅11mmx10mm長さx2mm厚
試料移動範囲:±5°
使用ｶﾞｽ:ｱﾙｺﾞﾝｶﾞｽ
圧力測定:ﾍﾞﾆﾝｸﾞ真空計
主排気装置;ﾀ-ﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
補助排気装置:ﾛ-ﾀﾘ-ﾎﾟﾝﾌﾟ
外寸/重量 本体:380x570x520h/41kg
電源:AC100V 0.4KVA
| | | 本体:SM-09010
真空ﾎﾟﾝﾌﾟ:GHD-030 ｱﾙﾊﾞｯｸ
| | 備 考 | | | | |
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 (NXPowerLite Copy).JPG)
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