仕 様 | 放電:方式:ダイオ-ド放電 :電圧:DC2.5KV.0.5KV :電流:DC0〜30mA 標準タ-ゲツト:Au-Pd(6;4).Au.Pt-Pb(8:2).Pt コ-ティングレ-ト:Au-Pt:8nm/min.Au:10nm/min :Pt-Pd:6nm/min.Pt:6nm/min モ-ド:HIGH(コ-ティング).LOW(イオンボンバ-ド親水性処理) 試料:最大φ50mm.最大高さ15mm ロ-タリ-ポンプ:50dm3/min 電源:AC100V 1KVA 外寸:350x440x307h 重量:29kg | |
| 備 考 | | | 点検済み |
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