仕 様 | 分解能:AFM:原子分解能(ContactMode時マイカ原子像) :STM:原子分解能(HOPG原子像) システムドリフト量:0.05nm/S以下 ドリフトフリ-ステ-ジ 測定モ-ド(AFM):コンタクトモ-ド/ACモ-ド/ノンコンタクトモ-ド(FMモ-ド) 測定モ-ド(STM):STMモ-ド:凹凸像.電流像.CTTS.I-V.S-V.I-S 走査範囲:XY:0〜20μm(標準スキャナ-)分解能25bit(オフセット含む) :Z:0〜3μm(標準スキャナ)分解能21bit(サ32ゲイン時) チュ-ブ形スキャナ使用(交換可能) 試料サイズ:最大540mmx50mmx5mmT 外寸:本体:710x710x1150h/250kg.制御ユニット:570x810x730h/80kg :コンプレサ-:290φx530h/17kg 電源:AC100V 15A 真空排気システム取り付け時:1.5KVAx2 | |
| 備 考 | | | |
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