| 仕 様 | 分解能:3.5nm(30kV)
倍率:x20～x300000
加速電圧:0.5～30kV(10kVｽﾃﾂﾌﾟ)
最大試料ｻｲｽﾞ:125mmφ全面観察可能(R軸併用)
試料ｽﾃ-ｼﾞ:X:80mm.Y:40mm.Z:40mm
:T:-30°～+60°.R:360°ｴﾝﾄﾞﾚｽ
電子銃:ﾌﾟﾘｾﾝﾀ-ﾄﾞﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾌｨﾗﾒﾝﾄ.ｵ-ﾄｶﾞﾝﾊﾞｲｱｽ
外寸/重量:1700x840x1480h/500kg
電源:AC100V 30A
冷却水:2.5～3.5L/min
ｴｱ-:0.45～0.6MPa
| | | 本体:SuperScan-550
冷却水循環装置:HYW2012C-S49
ｴｱ-ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ-:YC-3FG
ﾃﾟ-ﾀ処理装置:OS:WindowsXP SP-2 HDD:500GB
:ｿﾌﾄｳｪｱ:
:粒子解析ｿﾌﾄ
点検整備中 | | 備 考 | | | | 点検整備中 |
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